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特 長

1. 本裝備是持續式真空熱處置裝備，首要感化是經由進程熱處置去除晶體振蕩器在加工進程中發生的內部應力誤差，使其電極膜加倍不變化。
2. 本裝備由豫備室，處置室，冷卻室3室組成，托盤從豫備階段到退火階段再到冷卻階段，全部工程全都主動停止。除此以外，本裝備還能夠毗連高低料裝備組成主動出產線，進步產能節儉人力。
3. 出產速率以 220 × 140mm 的托盤為例達到 18 分/片。(※4)
4. 退火工程完整主動化，進步了出產量。

尺寸 / 分量

形狀尺寸

W1900 × D1500 × H2000 毫米

設置面積

約W1900 × D2170 × H2230 mm

設置分量

約2500 kg

性 能

達到壓力

9.9 × 10^-4 Pa 以下（退火室）

排氣時辰

1.2 × 10^-2Pa迄 15分以下 (退火室)

最高溫度

退火室: 350°C (加熱架外表溫度) ※1

經常使用溫度

退火室: 270°C (加熱架外表溫度) ※2

均勻溫度

270°C ±7.5°C (加熱架外表溫度) ※3

處置速率

18分之內/托盤 ※4

排氣體系

渦輪份子泵、施轉式油泵、機器增壓泵

真空計

電離真空計 × 1
皮拉尼真空計 × 3

※1, ※2: 溫調器顯現值
※3: 加熱未搭載托盤時辰的溫度散布
※4: 工件搭載數為每托盤750個，加熱時辰設定為2小時
第2片以后的托盤排擠的距離時辰
按照掏出室的冷卻增進用氣體品種，處置速率會有變化
任命AVIONICS制托盤(220 × 140)

內部須要前提

所需電量

200V ±10% / 220V ±10%, 三相三線式, 約21 kVA (61A)

所需水量

輸出壓力: 0.3 ～ 0.4 MPa
壓力差: 0.2 MPa 以上
水溫: 20 ～ 25°C (以運轉中無結露為前提)
流量: 約1.2 m ³ /hr (20 L/min)

所需空壓

供應壓力: 0.5 ～ 0.7 MPa
設定壓力: 0.5 MPa

所需氣體

N ₂氣(真空槽氣餒用)
供應壓力: 0.2 MPa 以上
設定壓力: 0.2 ～ 0.3 MPa
He氣(增進托盤冷卻用)
供應壓力: 0.05 MPa 以上
    設定壓力: 0.02 ～ 0.03 MPa

※裝備規格/表面可改進或變革。
※本產物有外匯和計謀物質按照國際商業辦理體例的劃定相稱出口限定物品的環境。 因此在把符合合品拿到日本外洋的時辰拿到日本國當局的出口允許請求須要的手續。